Stammdaten

Titel: A Sampling Decision System for Virtual Metrology in Semiconductor Manufacturing
Untertitel:
Kurzfassung:


Schlagworte:
Publikationstyp: Beitrag in Zeitschrift (Autorenschaft)
Art der Veröffentlichung Printversion
Erschienen in: IEEE Transactions on Automation Science and Engineering
IEEE Transactions on Automation Science and Engineering
zur Publikation
 ( )
Erscheinungsdatum: 01.2015
Titel der Serie: -
Bandnummer: 12
Heftnummer: 1
Erstveröffentlichung: Ja
Seite: S. 75 - 83

Identifikatoren

ISBN: -
ISSN: -
DOI: http://dx.doi.org/10.1109/TASE.2014.2360214
AC-Nummer: -
Homepage:
Open Access
  • Kein Open-Access

Zuordnung

Organisation Adresse
Fakultät für Technische Wissenschaften
 
Institut für Statistik
Universitätsstraße 65-67
9020  Klagenfurt am Wörthersee
Österreich
zur Organisation
Universitätsstraße 65-67
AT - 9020  Klagenfurt am Wörthersee

Kategorisierung

Sachgebiete
  • 101029 - Mathematische Statistik
Forschungscluster
  • Energiemanagement und -technik
  • Nachhaltigkeit
Zitationsindex
  • Science Citation Index (SCI)
Informationen zum Zitationsindex: Master Journal List
Peer Reviewed
  • Ja
Publikationsfokus
  • Science to Science (Qualitätsindikator: I)
Klassifikationsraster der zugeordneten Organisationseinheiten:
Arbeitsgruppen
  • Statistik für Halbleiter

Kooperationen

Keine Kooperationspartner ausgewählt

Beiträge der Publikation

Keine verknüpften Publikationen vorhanden