Publikation: A sampling decision system for semicon...
Stammdaten
| Titel: | A sampling decision system for semiconductor manufacturing: relying on virtual metrology and actual measurements |
| Untertitel: | |
| Kurzfassung: | |
| Schlagworte: |
| Publikationstyp: | Beitrag in Sammelwerk (Autorenschaft) |
| Erscheinungsdatum: | 2014 (Print) |
| Erschienen in: |
IEEE Press Piscataway
IEEE Press Piscataway
(
)
zur Publikation |
| Titel der Serie: | - |
| Bandnummer: | - |
| Erstveröffentlichung: | Ja |
| Seite: | S. 2649 - 2660 |
Versionen
| Keine Version vorhanden |
| Erscheinungsdatum: | 2014 |
| ISBN: | - |
| ISSN: | - |
| Homepage: | - |
AutorInnen
Zuordnung
| Organisation | Adresse | ||
|---|---|---|---|
|
Fakultät für Technische Wissenschaften
Institut für Statistik
|
AT - 9020 Klagenfurt am Wörthersee |
Kategorisierung
| Sachgebiete | |
| Forschungscluster |
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| Peer Reviewed |
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| Publikationsfokus |
Klassifikationsraster der zugeordneten Organisationseinheiten:
|
| Arbeitsgruppen |
|
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