Stammdaten

Titel: A sampling decision system for semiconductor manufacturing: relying on virtual metrology and actual measurements
Untertitel:
Kurzfassung:
Schlagworte:
Publikationstyp: Beitrag in Sammelwerk (Autorenschaft)
Art der Veröffentlichung Printversion
Erschienen in: IEEE Press Piscataway
IEEE Press Piscataway
zur Publikation
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Erscheinungsdatum: 2014
Titel der Serie: -
Bandnummer: -
Erstveröffentlichung: Ja
Seite: S. 2649 - 2660

Identifikatoren

ISBN: -
ISSN: -
DOI: -
AC-Nummer: -
Homepage:
Open Access
  • Kein Open-Access

Zuordnung

Organisation Adresse
Fakultät für Technische Wissenschaften
 
Institut für Statistik
Universitätsstraße 65-67
9020  Klagenfurt am Wörthersee
Österreich
zur Organisation
Universitätsstraße 65-67
AT - 9020  Klagenfurt am Wörthersee

Kategorisierung

Sachgebiete
  • 101029 - Mathematische Statistik
Forschungscluster
  • Energiemanagement und -technik
  • Nachhaltigkeit
Peer Reviewed
  • Ja
Publikationsfokus
  • Science to Science (Qualitätsindikator: II)
Klassifikationsraster der zugeordneten Organisationseinheiten:
Arbeitsgruppen
  • Statistik für Halbleiter

Kooperationen

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