Publikation: Sampling Decision System in semiconduct...

Stammdaten
Titel: Sampling Decision System in semiconductor manufacturing using Virtual Metrology
Untertitel:
Kurzfassung:
Schlagworte:
Publikationstyp: Beitrag in Sammelwerk (Autorenschaft)
Erscheinungsdatum: 01.2013 (Print)
Erschienen in: Proceedings CASE 2012
Proceedings CASE 2012
zur Publikation
 ( IEEE; Proceedings of IEEE Conference on Automation Science and Engineering (CASE) 2012 )
Titel der Serie: -
Bandnummer: -
Erstveröffentlichung: Ja
Version: -
Seite: S. 74 - 79

Versionen
Keine Version vorhanden
Erscheinungsdatum:
ISBN (e-book): -
eISSN: -
DOI: http://dx.doi.org/10.1109/CoASE.2012.6386366
Homepage: -
Open Access
  • Kein Open-Access
Erscheinungsdatum: 01.2013
ISBN: -
ISSN: 2161-8070
Homepage: http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=6386366&isnumber=6386304

AutorInnen
Daniel Kurz
Daniel.Kurz@aau.at
Forschungsaktivitäten
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(intern)
Cristina De Luca
Forschungsaktivitäten
(extern)
Jürgen Pilz
Juergen.Pilz@aau.at
Forschungsaktivitäten
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(intern)

Zuordnung
Organisation Adresse
Fakultät für Technische Wissenschaften
  Institut für Statistik
Universitätsstraße 65-67
9020 Klagenfurt am Wörthersee
Österreich
   office.stat@aau.at
zur Organisation
Universitätsstraße 65-67
AT - 9020  Klagenfurt am Wörthersee

Kategorisierung
Sachgebiete
  • 1162 - Statistik
Forschungscluster Kein Forschungscluster ausgewählt
Peer Reviewed
  • Ja
Publikationsfokus
  • Science to Science (Qualitätsindikator: I)
Klassifikationsraster der zugeordneten Organisationseinheiten:
Arbeitsgruppen Keine Arbeitsgruppe ausgewählt

Kooperationen
Keine Partnerorganisation ausgewählt

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