Stammdaten

Titel: Sampling Decision System in semiconductor manufacturing using Virtual Metrology
Untertitel:
Kurzfassung:
Schlagworte:
Publikationstyp: Beitrag in Sammelwerk (Autorenschaft)
Art der Veröffentlichung Printversion
Erschienen in: Proceedings CASE 2012
Proceedings CASE 2012
zur Publikation
 ( IEEE; Proceedings of IEEE Conference on Automation Science and Engineering (CASE) 2012 )
Erscheinungsdatum: 01.2013
Titel der Serie: -
Bandnummer: -
Erstveröffentlichung: Ja
Seite: S. 74 - 79

Identifikatoren

Zuordnung

Organisation Adresse
Fakultät für Technische Wissenschaften
 
Institut für Statistik
Universitätsstraße 65-67
9020 Klagenfurt am Wörthersee
Österreich
zur Organisation
Universitätsstraße 65-67
AT - 9020  Klagenfurt am Wörthersee

Kategorisierung

Sachgebiete
  • 1162 - Statistik
Forschungscluster Kein Forschungscluster ausgewählt
Peer Reviewed
  • Ja
Publikationsfokus
  • Science to Science (Qualitätsindikator: I)
Klassifikationsraster der zugeordneten Organisationseinheiten:
Arbeitsgruppen Keine Arbeitsgruppe ausgewählt

Kooperationen

Keine Partnerorganisation ausgewählt

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